[发明专利]一种锆基非晶多组元氧化物涂层的制备方法及应用在审
| 申请号： | 202210980844.1 | 申请日： | 2022-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN115305443A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 胡俊华;杨非凡;曹国钦;裴书博;陈朝阳 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;C23C14/02;G21C3/07 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 张真真 |
| 地址： | 450001 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： |
本发明属于表面加工领域，涉及一种锆基非晶多组元氧化物涂层的制备方法及应用。首先对硅片进行酸洗、超声清洗后氮气吹干备用；对锆合金基底进行酸洗、碳化硅砂纸抛光和超声清洗后氮气吹干备用；然后将锆基多元素靶材切割组合成溅射靶材A，将Si基多元素靶材切割组成溅射靶材B，将溅射靶材A与直流电源相连，溅射靶材B与射频电源相连，向腔室中同时通入Ar和O |
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| 搜索关键词： | 一种 锆基非晶多组元 氧化物 涂层 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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