[发明专利]一种半蚀刻用低膨胀合金4J36去应力退火工艺方法在审

专利信息
申请号: 202210992173.0 申请日: 2022-08-18
公开(公告)号: CN115305331A 公开(公告)日: 2022-11-08
发明(设计)人: 折启耀;韩小泉;廖席;段浩杰;赵永顺 申请(专利权)人: 山西太钢不锈钢精密带钢有限公司
主分类号: C21D8/02 分类号: C21D8/02;B21B37/58;C21D1/30;C21D1/74;C21D9/52;C21D11/00;C23C14/04
代理公司: 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 代理人: 江淑兰
地址: 030000 山西*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明涉及一种低膨胀合金产品的制备方法,一种半蚀刻用低膨胀合金4J36去应力退火工艺方法,包括成品轧程控制、清洗、拉矫、TA热处理。4J36成品轧程变形率控制在50‑70%,成品厚度≤0.05mm,厚度公差±0.002mm,清洗矫直后经TA卧式炉进行去应力退火处理,退火温度600‑700℃,退火工艺速度5‑10m/min。低膨胀合金4J36经去应力后可应用于OLED金属掩膜板生产,其经工艺半蚀刻后不产生蚀孔变形或翘曲等问题,满足金属掩膜板生产需求。该工艺技术开发将打破国外金属掩膜板基材垄断,为OLED国产化提供技术支撑。
搜索关键词: 一种 蚀刻 膨胀 合金 j36 应力 退火 工艺 方法
【主权项】:
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