[发明专利]晶圆生产工艺在审
| 申请号： | 202210999011.X | 申请日： | 2022-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN115415896A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 潘芳琳 | 申请（专利权）人： | 潘芳琳 |
| 主分类号： | B24B19/22 | 分类号： | B24B19/22;B24B29/02;B24B37/04;B24D3/14;B24D5/00;B28D1/22;C09G1/02;H01L21/02 |
| 代理公司： | 嘉兴名谨专利代理事务所(普通合伙) 33480 | 代理人： | 唐述伟 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了晶圆生产工艺，晶圆生产工艺方法包括如下步骤；选择玻璃毛坯，将玻璃毛坯通过CNC玻璃开料机进行切割，将切割好的玻璃毛坯通过磨轮来对其进行打磨，将打磨好的玻璃毛坯根据厚度来选择研磨还是抛光，将厚度不达标的玻璃毛坯来进行研磨，使玻璃毛坯达到符合标准的厚度，将厚度符合标准的玻璃毛坯进行抛光处理，将抛光处理好的玻璃毛坯进行清洗，将清洗好的玻璃毛坯进行检验，检测玻璃毛坯是否合格，将检测合格的玻璃毛坯进行包浆处理，使其形成晶圆。本发明通过将磨轮的凹槽直角改成半圆弧形状，避免玻璃毛坯在打磨时，玻璃毛坯与磨轮发生碰撞，从而造成玻璃毛坯发生破裂损坏，从而造成玻璃毛坯无法使用。 | ||
| 搜索关键词： | 生产工艺 | ||
【主权项】：
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