[发明专利]物理量检测元件、物理量传感器以及物理量传感器装置在审
| 申请号： | 202211004956.X | 申请日： | 2022-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN115712002A | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 佐藤健太;大户正之 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/097;G01P15/18;G01P1/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵曦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供物理量检测元件、物理量传感器以及物理量传感器装置，温度特性优异。物理量检测元件包括：第一基端部及第二基端部；一对振动梁，在第一基端部与第二基端部之间延伸；以及多个激励电极，设置在所述一对振动梁的每一个的表面上，振动梁具有第一区域、第二区域和第三区域，第一区域位于第二区域与第一基端部之间，第三区域位于第二区域与第二基端部之间，设置在第一区域中的激励电极被配置成距第一基端部的距离为振动梁的全长的2.5％以上且12.3％以下，设置在第三区域中的激励电极被配置成距第二基端部的距离为振动梁的全长的2.5％以上且12.3％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 检测 元件 传感器 以及 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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