[发明专利]半导体装置及半导体存储装置在审
申请号: | 202211006451.7 | 申请日: | 2022-08-22 |
公开(公告)号: | CN116314293A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 侧濑聪文;黄河;坂田敦子;神谷优太;松尾和展;泽敬一;高桥恒太;虎谷健一郎;刘益民 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/423 | 分类号: | H01L29/423;H01L29/06;H01L29/417;H01L29/78;H10B12/00 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 张轶楠;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 实施方式提供能降低导通电阻的半导体装置及半导体存储装置。实施方式的半导体装置具备:第1电极;第2电极;氧化物半导体层,其设置在第1电极与第2电极之间;栅电极,其将氧化物半导体层包围;栅极绝缘层,其设置在栅电极与氧化物半导体层之间;第1绝缘层,其设置在第1电极与栅电极之间;以及第2绝缘层,其设置在第2电极与栅电极之间,在与从第1电极朝向第2电极的第1方向平行的截面中,将连结第1电极与第1绝缘层的界面的第1端部和第2电极与第2绝缘层的界面的第2端部的方向定义为第2方向,在截面中,氧化物半导体层的第1部分在第2方向上设置在栅极绝缘层与第1电极之间,在截面中,氧化物半导体层的第2部分在第2方向上设置在栅极绝缘层与第2电极之间。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 存储 | ||
【主权项】:
暂无信息
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