[发明专利]加热处理装置、搬入搬出夹具及加热处理装置的维护方法在审
| 申请号： | 202211017278.0 | 申请日： | 2022-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN115846159A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 石原淳司;矶明典;増田浩一 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子装置株式会社 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02;B05D3/04 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 禹超;黄健 |
| 地址： | 日本神奈川县横浜市荣区笠间二*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可实现维护的容易化的加热处理装置、搬入搬出夹具及加热处理装置的维护方法。实施方式的加热处理装置包括：腔室；匣盒支架，设置于所述腔室的内部，且至少具有一对接收构件；第一加热部，设置于所述一对接收构件的上方，且具有至少一个第一加热器；第二加热部，设置于所述一对接收构件的下方，且具有至少一个第二加热器并且与所述第一加热部相向；以及匣盒，呈箱状且在内部具有用以支撑工件的空间，并且在所述第一加热部与所述第二加热部之间装卸自如地支撑于所述一对接收构件。在所述匣盒的相互相向的一对侧面分别设置有由所述接收构件支撑的匣盒支撑部。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 处理 装置 搬出 夹具 维护 方法 | ||
【主权项】：
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