[发明专利]一种晶圆自动贴膜机的上下料装置及其方法在审
| 申请号： | 202211036022.4 | 申请日： | 2022-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN115384847A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 葛彦杰;田耕;兑志魁;郑自菲;徐新玉 | 申请（专利权）人： | 郑州轨道交通信息技术研究院 |
| 主分类号： | B65B33/02 | 分类号： | B65B33/02;B65B35/16 |
| 代理公司： | 郑州浩德知识产权代理事务所(普通合伙) 41130 | 代理人： | 柏琼琼 |
| 地址： | 450001 河南省郑州市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明属于晶圆切割设备上料装置的技术领域，具体为一种晶圆自动贴膜机的上下料装置及其方法，机架上固定连接有钢环上下料组件，所述的机架上固定连接有位于钢环上下料组件左侧的晶圆上料组件，所述的机架上固定连接有位于钢环上下料组件下侧的钢环搬运机械手组件，所述的机架上固定连接有位于晶圆上料组件下侧的晶圆取片机械手组件，所述的机架上固定连接有位于晶圆取片机械手组件左侧的晶圆寻边组件，所述的机架上固定连接有位于钢环搬运机械手组件与晶圆取片机械手组件之间的钢环规整组件；所述的机架上固定连接有位于钢环规整组件与晶圆取片机械手组件之间的晶圆搬运机械手，所述的机架上固定连接有与晶圆搬运机械手配合的钢环取片机械手。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 贴膜机 上下 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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