[发明专利]基片位置异常的检测方法与检测装置在审
| 申请号： | 202211042514.4 | 申请日： | 2022-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN115289969A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 吴标平;吴洽;聂鹏 | 申请（专利权）人： | 中山凯旋真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G06T7/73 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 阚梓瑄 |
| 地址： | 528478 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开实施例提供了一种基片位置异常的检测方法与检测装置，该检测方法包括：获取基片分别位于机械手和转架上时的标准图像；获取基片重新分别位于机械手或转架上时的检测图像；判断所述标准图像中预设特征的位置与所述检测图像中所述预设特征的位置之间偏差是否在预设范围内；若不在所述预设范围内，则判断所述基片重新位于机械手或转架上的位置异常。本公开提供的基片位置异常的检测方法，能够通过视觉检测方式识别基片位置是否异常。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 异常 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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