[发明专利]一种遮光罩分区温控系统在审
申请号: | 202211049289.7 | 申请日: | 2022-08-30 |
公开(公告)号: | CN115357068A | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
发明(设计)人: | 翁警涛;徐华勒;汤龙舟;徐炳;杨川;姜晓源;何吉贤 | 申请(专利权)人: | 杭州航验环境技术有限公司 |
主分类号: | G05D23/20 | 分类号: | G05D23/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310000 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开的一种遮光罩分区温控系统,其特征在于:至少包括若干个遮光罩温控子系统以及显控柜,每个遮光罩温控子系统都至少具备遮光罩单元、制冷单元、加热单元以及传感器单元,并且制冷单元、加热单元以及传感器单元都直接紧贴在遮光罩单元上;若干个遮光罩单元相互联接成为遮光罩组合体,并紧箍在光学组件外表面;以此,通过显控柜的控制,每个遮光罩温控子系统都在制冷单元与加热单元的联合作用下独立运行,有效应对光学组件各区位温度差异,使光学组件在精确稳定的温度下工作。 | ||
搜索关键词: | 一种 遮光 分区 温控 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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