[发明专利]可靠性检测方法及装置在审
| 申请号： | 202211049774.4 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN115201620A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 蒋昊 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/01 | 分类号： | G01R31/01;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 闫学文 |
| 地址： | 201314*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种可靠性检测方法及装置中，由于同时给所有待检测半导体结构同时施加持续增大的第一电压，总电流发生突变时，说明至少一个待检测半导体结构被击穿；之后对每个待检测半导体结构施加固定的第二电压并检测流经每个待检测半导体结构的子电流，并根据该子电流的大小挑出击穿的待检测半导体结构，并对剩下的待检测半导体结构重复进行上述检测直至所有所述待检测半导体结构均被击穿完成所有检测。如此，可只采用一个所述供电设备和一个电流检测设备进行检测，节省了成本且减小了检测设备的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 可靠性 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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