[发明专利]一种单晶炉复投送料系统有效
| 申请号： | 202211059656.1 | 申请日： | 2022-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN115142139B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;朱亮;叶钢飞;倪军夫;李玉刚 | 申请（专利权）人： | 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 | 代理人： | 赵杰香 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉复投送料系统，该送料系统包括料斗、上料机构、下料机构和驱动组件，其中上料机构包括第一槽体和第一螺旋轴，下料机构包括第二槽体和第二螺旋轴，第一螺旋轴上设置有沿物料运输方向直径逐渐减小的第一叶片，第二螺旋轴上设置有沿物料运输方向直径逐渐减小的第二叶片。在物料运输过程中粒径小于等于第一粒径的部分物料被优先输送至单晶炉中，摊铺在硅液表面，剩余的部分物料随后输送至单晶炉中，掉落在粒径小于等于第一粒径的部分物料上，减缓了冲击。从而解决了大粒径物料投入单晶炉时造成的硅液飞溅的问题，避免了硅液飞溅造成的物料损失以及对单晶炉造成的损害，使得生产成本降低，并延长了单晶炉使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉复 投送 系统 | ||
【主权项】：
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