[发明专利]一种单晶炉投料装置有效
| 申请号： | 202211059672.0 | 申请日： | 2022-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN115142122B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;朱亮;傅林坚;叶钢飞;倪军夫;李玉刚 | 申请（专利权）人： | 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 | 代理人： | 赵杰香 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉投料装置，包括机架；炉体；投料装置；驱动组件；单晶炉，包括投料口；驱动组件包括驱动轮机构、从动轮机构、张紧机构和传送带机构，从动轮机构至少部分设置在驱动轮机构的前侧，张紧机构至少部分设置在驱动轮机构和从动轮机构之间，传送带机构围绕驱动轮机构和从动轮机构设置，张紧机构包括抵接至传送带机构的第一状态和与传送带机构分离的第二状态；当单晶炉投料装置处于正常工作时，张紧机构处于第一状态；当单晶炉投料装置处于异常工作时，张紧机构处于第二状态，以使单晶炉投料装置停机。通过上述设置，避免驱动组件的异常工作状态造成单晶炉损坏，提升了单晶炉的使用寿命，降低对单晶炉造成的经济损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 投料 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江求是半导体设备有限公司，未经浙江求是半导体设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211059672.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
