[发明专利]微机械传感器的测试装置、系统及方法在审
| 申请号： | 202211067404.3 | 申请日： | 2022-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN115479614A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 张佳旭;陶硕;谷华锋;裴志强;张琳琳 | 申请（专利权）人： | 北京晨晶电子有限公司 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 耿琦 |
| 地址： | 100020*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微机械传感器的测试装置、系统及方法，所述测试装置包括：温控容器、测试电路及测试容器。测试容器能够放置于所述温控容器内，所述测试容器具有密封腔，所述密封腔适于放置待测表芯；所述测试容器还设有与所述密封腔连通的抽气口和充气口，所述抽气口用于对所述密封腔抽气，所述充气口用于对所述密封腔充气；测试电路可拆卸安装于所述密封腔内，所述测试电路用于可拆卸连接所述待测表芯。本发明既可以对待测表芯进行测试，又可避免水汽等干扰物质对测试结果的影响，提高测试的稳定性，从而提高测试的重复性，提高测试效率，使用方便，结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 测试 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
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