[发明专利]半导体存储器件在审
申请号: | 202211068060.8 | 申请日: | 2022-08-30 |
公开(公告)号: | CN116133420A | 公开(公告)日: | 2023-05-16 |
发明(设计)人: | 杨世怜 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H10B12/00 | 分类号: | H10B12/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 范心田;倪斌 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了一种半导体存储器件,该半导体存储器件包括:衬底,包括有源图案,该有源图案包括彼此间隔开的第一源/漏区和第二源/漏区;位线,电连接到第一源/漏区并跨过有源图案;存储节点接触部,电连接到第二源/漏区;间隔物结构,在位线和存储节点接触部之间;着接焊盘,电连接到存储节点接触部;绝缘图案,在间隔物结构上并与着接焊盘相邻;以及衬层,在绝缘图案和着接焊盘之间。该绝缘图案可以包括:上绝缘部分和下绝缘部分,下绝缘部分在上绝缘部分和间隔物结构之间。下绝缘部分的最大宽度可以大于上绝缘部分的最小宽度。 | ||
搜索关键词: | 半导体 存储 器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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