[发明专利]光掩模版的生产管理系统、供应链管理方法以及电子设备在审
| 申请号： | 202211072089.3 | 申请日： | 2022-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN115421455A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 季明华;凡伟 | 申请（专利权）人： | 上海传芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G06Q50/04;G06F16/25;G06F16/23 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光掩模版的生产管理系统、供应链管理方法以及电子设备，光掩模版的生产管理系统包括：进料管理单元，将石英衬底参数信息与衬底标准值进行对比，得到第一检测结果；掩模基版管理单元，包括与各层薄膜一一对应的薄膜检测模块，薄膜检测模块用于获得薄膜参数信息，并将薄膜参数信息与薄膜标准参数值进行对比，得到第二检测结果；光掩模版管理单元，用于获得刻蚀工艺参数，并将刻蚀工艺参数与刻蚀工艺标准值进行对比，得到第三检测结果；决策单元，根据第一检测结果、第二检测结果以及第三检测结果决定是否停机检修。本发明的生产管理系统、管理方法以及电子设备，具有较高的可靠性和稳定性，能够满足光掩模版的生产需求。 | ||
| 搜索关键词： | 模版 生产管理 系统 供应 管理 方法 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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