[发明专利]压电晶体元器件掩膜板盖板机在审
| 申请号： | 202211073031.0 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN115327864A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 田渕亚宁 | 申请（专利权）人： | 凯视通机器人智能科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L41/25 |
| 代理公司： | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人： | 尤巧凤 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了压电晶体元器件掩膜板盖板机，包括设备机架，所述设备机架上端面一侧依次设有上料机构、载台输送机构、载台定位机构、纠错机构、UP Mask板盖板机构和Mask上盖板盖板机构，所述上料机构包括升降模组和固定设于升降模组底部的提篮料仓，所述载台输送机构上方滑动设有载台，所述载台定位机构与载台连接并驱动载台水平移动，所述纠错机构包括纠错视觉机构和纠错执行机构，所述载台上端面设有掩膜板固定气缸，本发明与现有技术相比的优点在于：本发明的直线移动均采用直线模组驱动，盖板工位主运动采用直线电机驱动以保证精度，载具的定位台采用气缸定位，使盖板工序执行时定位准确。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 晶体 元器件 掩膜板盖 板机 | ||
【主权项】：
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