[发明专利]不带氦气源的真空氦漏孔检测装置及方法在审
| 申请号： | 202211079863.3 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN115389120A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 刘贝贝;张忠立;刘燚;周宇仁;金愿 | 申请（专利权）人： | 上海市计量测试技术研究院 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 王一琦 |
| 地址： | 200040 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种不带氦气源的真空氦漏孔检测装置，包括第一标准真空氦漏孔、第二标准真空氦漏孔、被校真空氦漏孔、压力计、机械泵、氦气瓶；其中，第一标准真空氦漏孔漏率值小于被校真空氦漏孔，第二标准真空氦漏孔的漏率值大于被校真空氦漏孔；第一标准真空氦漏孔、第二标准真空氦漏孔、被校真空氦漏孔并联接入氦质谱检测仪，且各自前端设置阀门；所述被校真空氦漏孔后端设置所述数字压力计，并分两路分别与机械泵和氦气瓶连接；所述机械泵和氦气瓶各自前端设有阀门。 | ||
| 搜索关键词： | 氦气 真空 漏孔 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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