[发明专利]检查装置、剥离装置以及学习完毕模型的生成方法在审
| 申请号： | 202211082673.7 | 申请日： | 2022-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN115774015A | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 水本由达 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 杨俊波;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供检查装置、剥离装置以及学习完毕模型的生成方法，能够检测在锭或晶片中产生的裂纹。检查装置对具有研磨面的锭进行检查，该检查装置包含：保持工作台，其使锭的研磨面露出而进行保持；光源，其以规定的入射角向保持工作台所保持的锭的研磨面照射光；拍摄单元，其对由锭的研磨面反射的反射光进行会聚而进行拍摄，形成强调了由于在锭的内部伸长的裂纹而在研磨面产生的凹凸的拍摄图像；以及控制单元，其具有判定部，该判定部将所形成的该拍摄图像与预先设定的条件进行比较来判定锭的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 剥离 以及 学习 完毕 模型 生成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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