[发明专利]一种光刻胶供给装置在审
| 申请号： | 202211084292.2 | 申请日： | 2022-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN115542670A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 王必演;刘厚鑫 | 申请（专利权）人： | 上海众鸿半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 郑纯;黎飞鸿 |
| 地址： | 201208 上海市浦东新区中国（上海）*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于半导体涂胶显影技术领域，具体涉及一种光刻胶供给装置，包括至少两组供给胶瓶、胶空传感器、前端缓存瓶以及转换装置；本发明设置至少两组供给胶瓶，并为供给胶瓶配置胶空传感器及缓冲装置；在检测到某一组供给胶瓶内光刻胶量不足时进行供给胶瓶转换，保证对晶圆的光刻胶正常供给。本发明能够防止光刻胶空后没有及时更换导致机台停止，防止机台停止时间过长晶圆在机台内被过度烘烤影响一批晶圆，提高了工艺良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 供给 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海众鸿半导体设备有限公司，未经上海众鸿半导体设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211084292.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
