[发明专利]一种FP腔用晶体抛光工艺在审
| 申请号： | 202211100617.1 | 申请日： | 2022-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN115625586A | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏 | 申请（专利权）人： | 江苏逸加激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B13/005;B24B55/00 |
| 代理公司： | 苏州德坤知识产权代理事务所(普通合伙) 32523 | 代理人： | 查杰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市太*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种FP腔用晶体抛光工艺，采用下摆抛光机进行抛光，下摆抛光机包括升降机头和抛光模，升降机头上设置有真空管，真空管底部设置有可拆卸更换的定位夹盘，定位夹盘朝下设置并与真空管贯通连接，定位夹盘内还设置有橡胶垫圈；先对晶体镜片进行清洗，安装定位夹盘，将晶体镜片托设在定位夹盘内，通过对真空管抽真空，使得晶体镜片被吸附在定位夹盘内，随后通过升降机头将晶体镜片下移至抛光模表面并接触，施压并达到抛光设定压力，通过抛光模对晶体镜片进行抛光；抛光结束后，继续对真空管进行抽真空，升降机头复位，得到晶体镜片，将晶体镜片翻转一面，继续抛光，得到成品。本发明生产的镜片抛光质量优，且便于制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 fp 晶体 抛光 工艺 | ||
【主权项】：
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