[发明专利]一种静电消除器及电极探针的清洁判断方法在审
| 申请号： | 202211103495.1 | 申请日： | 2022-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN116193692A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 徐力;徐永诚;周顺平 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;上海至纯精密制造有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/04 | 分类号： | H05F3/04;H01T23/00 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 林捷达 |
| 地址： | 200000 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电消除器，包括气道芯、电极探针和探针座，气道芯连接有基座，探针座与气道芯连通，探针座内设置有固定座，电极探针设置在固定座上，固定座通过固定组件将电极探针固定在固定座上，固定座开设有微气道，探针座的横截面为圆环形，探针座连接有两个以上的凸缘，基座的内表面设置有两个以上的缺口，每个缺口的同一侧均连通有卡槽，凸缘可通过缺口进入到卡槽中，便于对电极探针的更换，同时，旋转卡接的方式使得探针座与气道芯基座连接更加紧密，提高了装置的密闭性，减少了气流的溢出，从而提高了装置的静电消除效率。本发明提供的一种电极探针的清洁判断方法可根据电压的高低及时对电极探针进行清洁，提高了电极探针的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 消除 电极 探针 清洁 判断 方法 | ||
【主权项】：
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