[发明专利]一种半导体产品的生产控制方法、装置及系统在审
| 申请号： | 202211104183.2 | 申请日： | 2022-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN116048010A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 王晓;庄金晓 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄邃 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种半导体产品的生产控制方法、装置及系统，用以实现半导体产品的生产工艺阶段内的通过产品数量最大，但所需时间最短，从而以最佳方式实现半导体产品的时间限制性工艺。本申请提供的半导体产品的生产控制方法，包括：若有半导体产品需要执行当前工艺阶段时，确定所述当前工艺阶段中各站点的剩余可用加工资源，并确定所述当前工艺阶段中剩余可用加工资源最小的站点；若所述当前工艺阶段中剩余可用加工资源最小的站点，符合预设的半导体产品释放条件，则控制所述半导体产品开始执行所述当前工艺阶段。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 产品 生产 控制 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
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