[发明专利]衬底支撑件、光刻设备和装载方法在审
| 申请号： | 202211105510.6 | 申请日： | 2017-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN115494703A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | J·奥努勒;A·F·J·德格罗特;W·西门斯;D·F·弗勒斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 丁君军 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于支撑衬底(W)的衬底支撑件(WT)。衬底支撑件包括主体(MB)、夹紧装置(VC；VSO)和抖动装置(DD)。主体包括用于支撑衬底(W)的支撑表面(S)。夹紧装置被布置为提供夹紧力以将衬底夹紧在支撑表面上。抖动装置被配置为抖动夹紧力。抖动装置可以被配置为在衬底W被装载到支撑表面上时抖动夹紧力。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 支撑 光刻 设备 装载 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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