[发明专利]改良型PVD镀膜转架结构在审
| 申请号： | 202211106428.5 | 申请日： | 2022-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN115537755A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 彭苏红;廖勇;祝恒 | 申请（专利权）人： | 浙江海量纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/32 |
| 代理公司： | 金华蘑菇云专利代理事务所(普通合伙) 33461 | 代理人： | 刘浩 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改良型PVD镀膜转架结构，转架安装在镀膜腔体内，其包括两转盘，两转盘间圆周方向设置多个挂架杆，用于安放镀件的挂架，形成镀膜工位；对应各镀膜工位远离靶材的方向，在转盘上开设有呈半包状设置的调节滑槽，在调节滑槽内活动设置有可调挡板，可调挡板包括若干转动连接的挡板，挡板高度与两转盘的间距相适应，相邻挡板间通过活动轴连接，且活动轴可适应性延挡板轴向滑动，以使得活动轴可穿设至调节滑槽内定位并与调节滑槽错开时可收缩至挡板内。本发明的改良型PVD镀膜转架结构，通过在转盘上设置调节滑槽，同时采用可转动并在调节滑槽内滑动限位的挡板，可形成不同尺寸形状的挡板。 | ||
| 搜索关键词： | 改良 pvd 镀膜 结构 | ||
【主权项】：
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