[发明专利]半导体器件及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202211111055.0 申请日: 2022-09-13
公开(公告)号: CN116171037A 公开(公告)日: 2023-05-26
发明(设计)人: 朴志云;朴影根;李豪真 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H10B12/00 分类号: H10B12/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴晓兵;倪斌
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开一种半导体器件,该半导体器件包括:衬底;接触结构,穿透衬底;底电极,在衬底上并连接到接触结构;介电层,覆盖底电极;以及顶电极,在底电极上。介电层将顶电极与底电极分开。接触结构包括下导电图案和在下导电图案上的上导电图案。上导电图案包括第一金属的注入掺杂剂的氮化物。
搜索关键词: 半导体器件 及其 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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