[发明专利]半导体器件及其制造方法在审
申请号: | 202211111055.0 | 申请日: | 2022-09-13 |
公开(公告)号: | CN116171037A | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | 朴志云;朴影根;李豪真 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H10B12/00 | 分类号: | H10B12/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴晓兵;倪斌 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 公开一种半导体器件,该半导体器件包括:衬底;接触结构,穿透衬底;底电极,在衬底上并连接到接触结构;介电层,覆盖底电极;以及顶电极,在底电极上。介电层将顶电极与底电极分开。接触结构包括下导电图案和在下导电图案上的上导电图案。上导电图案包括第一金属的注入掺杂剂的氮化物。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社,未经三星电子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202211111055.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种智能型路口车辆识别系统
- 下一篇:一种快速查找泄漏点的方法及系统