[发明专利]一种具有实现批量镀膜的夹具工装的镀膜装置在审
| 申请号： | 202211122368.6 | 申请日： | 2022-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN115449746A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 喻江;吴松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有实现批量镀膜的夹具工装的镀膜装置，包括底座、钼片、盖板、水平调整组件和多个定位组件，所述底座，其上表面用于放置传感器基底；所述钼片，其设置在所述底座上，并用于贴合所述底座上传感器基底的顶端，并在所述钼片覆盖传感器基底的区域开设缝隙；所述盖板，其贴合在所述钼片的上表面，并开在传感器基底正上方的区域开设通槽；所述水平调整组件能够通过多个所述定位组件调整所述钼片在所述底座顶端的位置；通过将钼片连接的方式设为先定位后压合的方式，并且能够通过控制多个定位件同步移动以连带调整钼片的位置，且在未压合时钼片不与传感器基底接触，从而便于对钼片的位置进行微调。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 实现 批量 镀膜 夹具 工装 装置 | ||
【主权项】：
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