[发明专利]一种自动修复石英坩埚外径的装置在审
| 申请号： | 202211127736.6 | 申请日： | 2022-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN115383566A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 杜兴林;韩君勇;马俊飞;董成官;毛磊;郭建伟;翟冲宇 | 申请（专利权）人： | 宁夏欧晶科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/00 | 分类号： | B24B19/00;B24B27/00;B24B47/12;B24B47/22 |
| 代理公司： | 内蒙古欣洋瑞专利代理有限公司 15110 | 代理人： | 陈冠霖 |
| 地址： | 750021 宁夏回族自治区银川市西夏区经开*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动修复石英坩埚外径的装置，包括：限位承载组件，其上预限位放置有待修复的石英坩埚；传送装置，用于间隔传送所述限位承载组件；三维驱动组件，其具有一三维驱动端；沿传送装置传送方向分布的两个微进给驱动组件，且自前向后依次为第二微进给驱动组件和第一微进给驱动组件，所述第二微进给驱动组件和第一微进给驱动组件固定于所述三维驱动端上；以及第一角磨机和第二角磨机，其中所述第一角磨机固定于第一微进给驱动组件的输出端，所述第二角磨机固定于第二微进给驱动组件的输出端，且对石英坩埚的外径进行打磨修复时，先利用所述第一角磨机进行一次初步打磨和测量，之后再利用第二角磨机进行逐步打磨。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 修复 石英 坩埚 外径 装置 | ||
【主权项】：
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