[发明专利]一种DI曝光机的LED光学设备在审
| 申请号： | 202211128635.0 | 申请日： | 2022-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN115421358A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 岳长来 | 申请（专利权）人： | 深圳和美精艺半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市海顺达知识产权代理有限公司 44831 | 代理人： | 罗志伟 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种DI曝光机的LED光学设备，涉及DI曝光机的LED光学设备领域，解决了现有DI曝光机的LED光学设备使用时成像镜头长时间处于高强度运行状态发热严重影响使用寿命的运行效果的问题，包括转动装置、感温装置、切换装置和多组光刻设备，多组光刻设备上均固定连接有两组成像镜头，成像镜头的侧面固定连接有近紫外LED发光源设备，此DI曝光机的LED光学设备，便于通过设置两组成像镜头并通过感温装置接收两组成像镜头的温度状态，并随着一组成像镜头的运行温度升高逐渐进行蓄力，当温度达到设定温度后触发转动装置进行转动180°，提高了成像镜头的运行效率，延长了机体的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 di 曝光 led 光学 设备 | ||
【主权项】：
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