[发明专利]一种粘滑驱动的六自由度精密定位平台在审
申请号: | 202211170099.0 | 申请日: | 2022-09-22 |
公开(公告)号: | CN115446612A | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 闫鹏;于海洋;江文渊 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | B23Q1/01 | 分类号: | B23Q1/01;B23Q1/26 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 陈晓敏 |
地址: | 250061 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种粘滑驱动的六自由度精密定位平台,包括底座,沿着底座的径向方向设置三个第一主运动模块,在第一主运动模块的顶部设置第二主运动模块,且第二主运动模块的设置方向与第一主运动模块设置方向垂直,第一主运动模块驱动第二主运动模块运动,在每个第二主运动模块上设置有一个倾斜设置的被动运动模块,第二主运动模块驱动被动运动模块移动,三个被动运动模块的倾斜角度相同,在每个被动运动模块上设置一个球形铰链,三个球形铰链与同一个样品放置平台连接。本发明中的三个主动运动模块采用并联结构设计,具有刚度大,负载能力强,累计误差小的优点,有效的提高了精密定位平台的定位精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 驱动 自由度 精密 定位 平台 | ||
【主权项】:
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