[发明专利]捕集装置和包括其的基板处理装置在审
| 申请号： | 202211174956.4 | 申请日： | 2022-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN116061574A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 杨镇佑 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B41J3/407 | 分类号： | B41J3/407;B41J2/01;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种能够稳定地控制弯液面位置的基板处理装置。该基板处理装置包括：头单元，用于排放液态化学品；贮存器，用于贮存液态化学品，并向头单元供应液态化学品；压力调节单元，用于调节贮存器内部的压力；以及捕集单元，布置在贮存器和压力调节单元之间，并用于捕集从贮存器中产生的雾气。 | ||
| 搜索关键词： | 集装 包括 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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