[发明专利]磁控溅射结合力检测方法、装置、设备及存储介质在审
| 申请号： | 202211178502.4 | 申请日： | 2022-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN115452710A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 肖洋;林楚涛;刘湘龙;胡梦海 | 申请（专利权）人： | 广州兴森快捷电路科技有限公司;深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 周翀 |
| 地址： | 510663 广东省广州市广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控溅射结合力检测方法、装置、设备及存储介质，磁控溅射结合力检测方法应用于磁控溅射结合力检测装置的主控设备，磁控溅射结合力检测装置还包括推刀和载物台，主控设备与推刀、载物台通信连接，检测方法包括：控制载物台移动至预设测试位置，控制推刀沿Z轴移动至预设的初始位置，以使推刀位于待测件正前方，控制推刀从初始位置沿Z轴移动至预设检测位置，控制载物台以预设测试速度沿X轴向推刀方向移动，以使待测件与推刀接触，获取推刀剪断待测件时推刀受到的推力，以得到剪切力，获取待测件和推刀的接触面积，根据接触面积和剪切力进行推力计算，得到目标结合力。本发明能够通过推力测试检测出磁控溅射镀膜的结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 结合 检测 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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