[发明专利]一种RCZ法拉制单晶硅的方法在审
申请号: | 202211190322.8 | 申请日: | 2022-09-28 |
公开(公告)号: | CN115506018A | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 王建立;颜超;路鹏 | 申请(专利权)人: | 晶澳(邢台)太阳能有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/02;C30B15/20 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 徐颖聪 |
地址: | 054004 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明提供一种RCZ法拉制单晶硅的方法,包括:S1、在拉制第一棒至第n‑3棒时,控制每棒具有相同的第一直径和第一长度,向坩埚内复投第一投料量的硅料,并向坩埚内添加等量的合金;S2、在拉制第n‑2棒时,控制所述第n‑2棒具有第一直径和第一长度,向坩埚内复投第一投料量的硅料,并停止添加合金;S3、拉制第n‑1棒时,控制第n‑1棒具有所述第一直径和第二长度,向坩埚内复投第二投料量的硅料,并继续停止添加合金;S4、在拉制第n棒时,控制第n棒具有大于所述第一直径的第二直径和第三长度,拉制直至所述坩埚内剩余硅料量小于或等于预定量,完成制备。本申请可以提高硅料利用率、提高单晶硅棒性能、提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 rcz 法拉 制单 方法 | ||
【主权项】:
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