[发明专利]一种RCZ法拉制单晶硅的方法在审

专利信息
申请号: 202211190322.8 申请日: 2022-09-28
公开(公告)号: CN115506018A 公开(公告)日: 2022-12-23
发明(设计)人: 王建立;颜超;路鹏 申请(专利权)人: 晶澳(邢台)太阳能有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B15/02;C30B15/20
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 徐颖聪
地址: 054004 河北省*** 国省代码: 河北;13
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种RCZ法拉制单晶硅的方法,包括:S1、在拉制第一棒至第n‑3棒时,控制每棒具有相同的第一直径和第一长度,向坩埚内复投第一投料量的硅料,并向坩埚内添加等量的合金;S2、在拉制第n‑2棒时,控制所述第n‑2棒具有第一直径和第一长度,向坩埚内复投第一投料量的硅料,并停止添加合金;S3、拉制第n‑1棒时,控制第n‑1棒具有所述第一直径和第二长度,向坩埚内复投第二投料量的硅料,并继续停止添加合金;S4、在拉制第n棒时,控制第n棒具有大于所述第一直径的第二直径和第三长度,拉制直至所述坩埚内剩余硅料量小于或等于预定量,完成制备。本申请可以提高硅料利用率、提高单晶硅棒性能、提高生产效率。
搜索关键词: 一种 rcz 法拉 制单 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于晶澳(邢台)太阳能有限公司,未经晶澳(邢台)太阳能有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202211190322.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top