[发明专利]一种Fab厂用具有智能化自动抓取功能的加工设备

摘要

本发明公开了一种Fab厂用具有智能化自动抓取功能的加工设备，包括机架和保护罩，所述机架的上端转动设置有保护罩，所述机架的侧面底部设置有可拆卸的挡板，所述机架的内部等距设置有3个横向移动机构，所述横向移动机构的内部设置有气动式抓取机构；当装置在进行使用时，输送结构可以带动晶圆进行移动，气动式抓取机构可以对晶圆进行抓取，然后横向移动机构带动气动式抓取机构进行移动，在移动晶圆的同时，另一侧的循环式打磨机构和限位打磨机构会对晶圆进行打磨，从而增加对晶圆的打磨效率，在打磨时会利用离心力将产生的碎渣移动至边缘，然后通过晶圆与槽口之间的间隙使得杂质向下流动，再通过杂质收集机构来对杂质进行收集。