[发明专利]一种龙门双面光刻系统的曝光方法有效
| 申请号： | 202211207437.3 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115524942B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 王华;陈志特;朱敏;甘泉;黄海浩 | 申请（专利权）人： | 广东科视光学技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K3/00;H05K3/06 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 胡国英 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种龙门双面光刻系统的曝光方法，包括以下步骤:组装好PCB组件，并将PCB组件放置到移动龙门式左平台；将龙门式左平台移动到CCD组件的位置处，通过上下两侧的对位相机对PCB板上下两面同时进行定位；将龙门式左平台移动到光刻组件的位置处，通过上下两侧的光刻镜头对PCB板上下两面同时进行光刻；光刻好的龙门式左平台上的PCB组件回复到原位置，待光刻的龙门式右平台上的PCB组件重复步骤1‑3进行光刻，本发明的光刻系统，只需要在设备的一侧增加一个工位即可，便可对两个平台进行交叉的光刻工作；以及分别设置上下两个的光刻组件和CCD组件，从而可以对PCB板同时进行两面光刻工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 龙门 双面 光刻 系统 曝光 方法 | ||
【主权项】：
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