[发明专利]一种太阳能电池硅片扩散炉有效
| 申请号： | 202211229479.7 | 申请日： | 2022-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN115595669B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 常永喜;汤芳;张勇 | 申请（专利权）人： | 浙江浩锐石英科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B29/06;C30B31/14;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京云嘉湃富知识产权代理有限公司 11678 | 代理人： | 赵骁勇 |
| 地址： | 313100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种太阳能电池硅片扩散炉，涉及太阳能电池生产技术领域，包括底座、炉体、上料机构、输送机构、炉门机构，所述的炉体、上料机构、输送机构、炉门机构均设置在底座上；本发明通过设置上料机构，可以对太阳能电池硅片进行自动上料，并且可以同时将两个太阳能电池硅片摆放至石英舟上；本发明通过设置输送机构，可以通过碳化硅桨将石英舟运输至炉体中并缓慢放下，还可以将碳化硅桨从炉体中退出，从而增加碳化硅桨的使用寿命；本发明通过输送机构和炉门机构的配合，可以在每次将石英舟输送至炉体后，自动对炉门进行关闭，需要取出石英舟时，炉门自动开启。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 硅片 扩散 | ||
【主权项】：
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