[发明专利]一种气体检测用双带通窄带滤光片及制作方法在审
申请号: | 202211250020.5 | 申请日: | 2022-10-12 |
公开(公告)号: | CN115508932A | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 林新佺 | 申请(专利权)人: | 深圳市激埃特光电有限公司 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;G02B27/00 |
代理公司: | 北京子焱知识产权代理事务所(普通合伙) 11932 | 代理人: | 陈涵瀛 |
地址: | 518100 广东省深圳市龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种气体检测用双带通窄带滤光片及制作方法,其方法包括步骤有:选择并清洁中间层基材,将中间层基材设置在镀膜真空腔中加热并恒温控制;对镀膜颗粒预熔,对中间层基材进行离子轰击,然后对上膜结构镀制,上膜结构完成镀制后对下膜结构镀制;其中,对上膜结构镀制及对下膜结构镀制过程中通过动态获取每一个膜结构复合方案对应的性能评价参数进而动态调整下一次镀制过程中膜结构复合方案,直到膜结构复合方案为最优方案。本申请制作的滤光片能较全面提高综合性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 气体 检测 用双带通 窄带 滤光 制作方法 | ||
【主权项】:
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