[发明专利]体声波谐振器及其制作方法在审
| 申请号： | 202211260246.3 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN115694402A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 张大鹏;林瑞钦 | 申请（专利权）人： | 武汉光钜微电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 徐雯;胡春光 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市武汉东湖高新技术开发区高*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开实施例公开了一种体声波谐振器及其制作方法，所述体声波谐振器包括：衬底；依次层叠于衬底上的反射结构、第一电极层、压电层和第二电极层；框架结构，位于所述第二电极层上，且靠近有源区的边缘，包括：第一子框架结构和第二子框架结构；其中，所述第一子框架结构的内侧轮廓和外侧轮廓中的至少一个包括第一凸出部分，所述第二子框架结构的内侧轮廓和外侧轮廓中的至少一个包括第二凸出部分，所述第二凸出部分和所述第一凸出部分不同。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉光钜微电子有限公司，未经武汉光钜微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211260246.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种精确混料系统及其方法
- 下一篇：电池整形工装以及电池的封口方法
