[发明专利]一种主鼓组件及其应用的真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202211274974.X | 申请日： | 2022-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN115433917B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 刘文丽;金晨;张艳鹏;温建仁;韩仁龙 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 崔颖 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及真空卷绕镀膜设备的领域，尤其是涉及一种主鼓组件及其应用的真空镀膜设备。一种主鼓组件，包括双层主鼓，双层主鼓由内向外依次设有冷却层、气路层，气路层包括多个相互隔绝的空腔，空腔的长度方向平行于双层主鼓的轴向，空腔的至少一端与双层主鼓的外侧连通,双层主鼓外周面上开设有多个与空腔连通的出气孔。还涉及一种应用主鼓组件的真空镀膜设备，包括镀膜腔室，镀膜腔室内转动设置有相互平行的双层主鼓、放卷辊组及收卷辊组，镀膜腔室内还设有镀膜源，镀膜腔室侧壁开有多个向空腔通气的送气孔。本申请具有减少气体向镀膜腔室中逸散，降低真空抽气要求，节约能源的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 及其 应用 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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