[发明专利]一种半导体设备及部件表面颗粒的检测方法在审
| 申请号： | 202211276342.7 | 申请日： | 2022-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN115655984A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 邹冰杰;贺贤汉;侯晓晨;管方方;张正伟 | 申请（专利权）人： | 上海富乐德智能科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/00 | 分类号： | G01N15/00;G01N23/2251;G01N23/22;G01N23/2202;G01N1/34;G01N1/44 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 龚敏 |
| 地址： | 200444 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种半导体设备及部件表面颗粒的检测方法，包括如下步骤：步骤一，将设备的零部件放置在固定的平台上，采用IPA溶液对零部件或者零部件的某一表面进行冲洗5‑10分钟，并收集冲洗后的液体，可重复进行多次；步骤二，用滴灌吸取3‑6ml冲洗后的液体，均匀地滴至滤膜上进行抽滤，其中滤膜材质为亲水的PTFE聚四氟乙烯；步骤三，抽滤结束后，将滤膜至于无尘烘箱内进行干燥；步骤四，滤膜烘干后，采用扫描电子显微镜和X射线能谱仪对颗粒的形貌和成分进行测试。本发明在通过对部件用IPA冲洗并采用滤膜过滤，将颗粒收集并进行等检测。过程简便，通过冲洗、过滤并烘干的处理，可直接对滤膜上的颗粒进行测试。无需对溶液内的颗粒进行消解处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 部件 表面 颗粒 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海富乐德智能科技发展有限公司，未经上海富乐德智能科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211276342.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
