[发明专利]干涉信息测量装置及具有其的基板处理系统在审
| 申请号： | 202211277497.2 | 申请日： | 2022-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN116067315A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 李载德;姜汉林;陈元镛;张硕元 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;G01B11/00;G01F22/00;G01P5/26;B41J2/07 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种利用温度传感器阵列测量关于干涉区域的信息的干涉信息测量装置及具有其的基板处理系统。上述干涉信息测量装置包括：激光传感器，其输出第一激光和第二激光使得所述第一激光和所述第二激光交叉；热敏传感器阵列，其穿过由所述第一激光和所述第二激光交叉而形成的干涉区域；以及控制模块，其基于在所述热敏传感器阵列穿过所述干涉区域时获得的信息来测量所述干涉区域的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 信息 测量 装置 具有 处理 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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