[发明专利]掩模板图层的检测方法、检测装置、检测设备及存储介质在审
| 申请号： | 202211290292.8 | 申请日： | 2022-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN115619744A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 曾弘岳;廖至钦;周铭章;林富良 | 申请（专利权）人： | 友达光电（昆山）有限公司;友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/90 |
| 代理公司： | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人： | 孟超;梁挥 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩模板图层的检测方法、检测装置、检测设备及存储介质。检测方法包括获取至少一掩模板图层；将所述至少一掩模板图层划分为一第一区域以及一第二区域，其中所述第一区域为非检测区，所述第二区域为检测区，且所述第二区域为异形区域；将所述第二区域划分为多个呈阵列排布的区块；将所述区块中的一第一区块与至少一第二区块进行比对，得到一比对结果；根据所述比对结果判断所述掩模板图层的缺陷类型；其中，所述第一区域具有一第一背景色，所述第二区域具有一第二背景色，所述第一背景色与所述第二背景色不同。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 检测 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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