[发明专利]磁控管靶联接器和支承设备在审
| 申请号： | 202211306732.4 | 申请日： | 2022-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN116121717A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | G·格罗斯;S·莫沙默;K·施耐德;T·桑德 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 王珺;李文颖 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 涉及一种磁控管靶联接器和支承设备。根据各种实施方式，磁控管靶联接器(301)包括：靶联接器法兰(702)；轴(808)，该轴在端侧与靶联接器法兰(702)刚性联接，并且在与靶联接器法兰(702)相对置的一侧上具有第一线性支承件部件(8081)；通信接口(704)，该通信接口具有相互电耦联的第一通信电极(704a)和第二通信电极(704b)；其中第二通信电极(704b)在与轴(808)相对置的一侧上刚性地固定在靶联接器法兰(702)处，其中靶联接器法兰(702)设置在第一通信电极(704a)和第二通信电极之间(704b)；其中第一通信电极(704a)被支承，使得其朝向第二通信电极(704b)位移和/或远离其位移。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控管靶 联接器 支承 设备 | ||
【主权项】：
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