[发明专利]一种金属氧氮化物薄膜清洗干燥装置在审
| 申请号： | 202211308450.8 | 申请日： | 2022-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN115574581A | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 方涛;唐煌;吴晓庆;刘波 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;B08B3/04;B08B1/04 |
| 代理公司： | 镇江谷弈专利代理事务所(特殊普通合伙) 32595 | 代理人： | 李晓蒙 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及清洗干燥装置技术领域，且公开了一种金属氧氮化物薄膜清洗干燥装置，包括箱体、清洗机构和干燥机构，所述清洗机构设置在箱体的内部，所述箱体的右侧设置有干燥架，所述干燥机构设置在干燥架上，所述清洗机构包括伺服电机和主动轮。该一种金属氧氮化物薄膜清洗干燥装置，通过在箱体的内部酸洗池和水洗池分别注入适量的酸洗液和清水后，启动伺服电机带动第一海绵辊进行转动，同时设置的传动结构使伺服电机可同时带动第一海绵辊、第二海绵辊和第三海绵辊进行转动，对金属氧氮化物薄膜的上下面进行先酸洗，去除薄膜上的氧化物和碳酸盐，然后通过水洗去除残留可溶性盐，提高了金属氧氮化物薄膜的清洗料率和清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 氮化物 薄膜 清洗 干燥 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏理工学院，未经江苏理工学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211308450.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
