[发明专利]一种新型的流量检测结构在审
申请号: | 202211308604.3 | 申请日: | 2022-10-25 |
公开(公告)号: | CN115824325A | 公开(公告)日: | 2023-03-21 |
发明(设计)人: | 张昭 | 申请(专利权)人: | 托伦斯半导体设备启东有限公司 |
主分类号: | G01F1/34 | 分类号: | G01F1/34;G01L13/00 |
代理公司: | 合肥市博念易创专利代理事务所(普通合伙) 34262 | 代理人: | 尚秘 |
地址: | 226200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型的流量检测结构,本发明涉及流量检测结构技术领域,包括安装座和工作台,所述工作台位于所述安装座的一侧,所述安装座的上方设有压力表,所述安装座的侧壁分别设有气压阀门、降压阀和出气接头,所述降压阀设置在所述气压阀门和所述出气接头之间并通过第一连接管连通设置,所述压力表接通设置在所述出气接头与所述降压阀之间的第一连接管上,该新型的流量检测结构将气流通过气压阀门、降压阀、压力表和进气接头进入待测工件的流道内,并从流道另一端连通设置的出气管排出,通过出气管上设置的流量计显示的数据观察判断该流道内的压力数据是否有变化,便于工作人员可直观进行判断,操作简单,使用便捷。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 流量 检测 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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