[发明专利]用于双腔半导体设备的排气管路以及双腔半导体设备

摘要

本发明提供了用于双腔半导体设备的排气管路以及双腔半导体设备。排气管路包括真空泵排气管路，具有前级抽气管路、真空泵以及后级抽气管路。前级抽气管路连接双腔室和真空泵的进口，后级抽气管路连接真空泵的出口和废气处理装置。前级抽气管路上设置有第一阀门，将前级抽气管路分为第一段和第二段。第一段位于第一阀门与双腔室之间，第二段位于第一阀门与真空泵之间。第一分子泵排气管路包括第一分子泵进气管道、第一分子泵以及第一分子泵排气管道。第一分子泵进气管道连接前级抽气管路的第一段与第一分子泵的进口。第一分子泵进气管道与该第一段的交汇点靠近第一阀门。第一分子泵排气管道连接第一分子泵的出口与前级抽气管路的第二段。