[发明专利]超宽截止带50nm宽带通矩形波带通滤光膜设计方法

摘要

本发明属于光学薄膜技术领域，公开了一种基底为H‑K9L或其它在400nm～1100nm具有高透射率的无色玻璃上，400nm～1100nm范围内中心波长λ0＝515nm，通带宽度Δλ＝λ0±25nm＝50nm、截止带λ≠λ0±40nm的超宽截止带50nm宽带通矩形波带通滤光膜的设计方法。该方法针对电子束热蒸发镀膜设备，以Ti2O3做为高折射率薄膜材料，以SiO2做为低折射率薄膜材料，使用石英晶控法监控膜层厚度，设计、制备的此类膜系具有膜层总厚度较薄，薄膜应力较小，环境适应性强，对薄膜沉积设备要求低，制备方法简单，制作成本低的特点。本发明所述方法对400nm～1100nm波段范围内其它中心波长的50nm宽带通滤光膜具有普适性。