[发明专利]一种升降式光刻机及其加工方法有效
| 申请号： | 202211321857.4 | 申请日： | 2022-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN115390373B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 王华;陈志特;甘泉 | 申请（专利权）人： | 广东科视光学技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 王晓艳 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种升降式光刻机，包括基架；基架的两侧分别设置有上料传送带和下料传送带，基架的内部设置有中间传送带，基架的顶部设置有桁架，桁架上设置有光学机构；在中间传送带处设置有升降台机构，该升降台机构包括升降工作台、第一矫正机构、第二矫正机构，升降工作台沿着中间传送带升降运动；升降工作台包括工作台，工作台位于两个中间传送带之间，工作台的中部与升降气缸的输出端连接；工作台的两侧分别通过U型杆与扩张板连接；本发明的升降式光刻机在进行有序输送过程时，实现其对PCB板体升降式光刻处理，以及在升降过程中，对PCB板体进行定位对准、矫正处理，保证PCB板体光刻处理时的精准性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 升降 光刻 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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