[发明专利]一种掩膜板组件、掩膜板及监控蒸发源镀膜均匀性的方法在审
| 申请号： | 202211325402.X | 申请日： | 2022-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN115612983A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 张麒麟;吴晟远 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 福州市京华专利代理事务所(普通合伙) 35212 | 代理人： | 宋连梅 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板组件、掩膜板及监控蒸发源镀膜均匀性的方法，涉及TFT基板蒸镀技术领域。本发明的掩模板组件应用于高精细掩膜板，包括：多个遮挡条，用于遮挡所述精细掩模条间缝隙，避免材料蒸镀到TFT基板；多个镂空部，用于形成每一蒸发源对应的膜厚监控区域，对应不同蒸发源设置于所述遮挡条的不同位置上，且不位于所述遮挡条与支撑条重叠部分；所述镂空部的位置均分别映射于TFT基板的非电路区，且每一所述镂空部的面积至少大于光学薄膜量测设备的光斑。本发明实施例通过一种新型的掩膜板组件和掩膜板，实现了在生产过程中对各个蒸发源镀膜均匀性进行在线测量及监控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 组件 监控 蒸发 镀膜 均匀 方法 | ||
【主权项】：
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