[发明专利]一种角度微调机构在审

专利信息
申请号: 202211348112.7 申请日: 2022-10-31
公开(公告)号: CN115523385A 公开(公告)日: 2022-12-27
发明(设计)人: 刘海霞;姜山河;何伟涛 申请(专利权)人: 西安建筑科技大学
主分类号: F16M11/04 分类号: F16M11/04;F16M11/06;F16M11/18
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 王晶
地址: 710055*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种角度微调机构,包括屈服轮,屈服轮安装于安装平台上,屈服轮的中心轮体和安装平台固定作为“不形变”的静止基体,屈服外环跟辐条与中心轮体相连,载物平台与屈服外环相连,光栅检测头安装于屈服外环一侧;固定板、压电陶瓷、顶块、电机固定头、电机构成该微调机构的驱动部分,安装于屈服轮左侧,压电陶瓷通过固定板固定于安装平台,电机通过电机固定头固定于安装平台;安装导轨、微动开关、螺栓座、挡片与连接件构成限位部分。本发明能够使得角度调节的精度高,抗振动能力强,且该机构在优于1×10‑7Torr真空环境中进行工作并保证位移准确、定位精确和极高的精度。
搜索关键词: 一种 角度 微调 机构
【主权项】:
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