[发明专利]一种镀膜机镀膜的监测预警方法及系统有效
| 申请号： | 202211353896.2 | 申请日： | 2022-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN115406489B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 李志华;林申旺;陈小雄;郑文杰 | 申请（专利权）人： | 山东申华光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;C23C14/54 |
| 代理公司： | 青岛致嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 37236 | 代理人： | 马明月 |
| 地址： | 255000 山东省淄博市高新区青龙*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镀膜机镀膜的监测预警方法及系统，涉及数字处理技术领域，方法包括：根据数据采集装置，获取目标基片的基片表面信息、基片位置信息和基片角度信息，输入镀膜监测模型中，生成镀膜监测结果；获取目标镀膜机中用于进行镀膜的镀膜材料组分；按照镀膜材料组分进行镀膜均匀性分析，获取成膜均匀指标；通过对目标镀膜机的基片放置结构进行分析，获取镀膜稳定指标；根据基材镀膜指标、成膜均匀指标和镀膜稳定指标进行匹配度分析，输出匹配度分析结果，生成镀膜预警信息。解决镀膜控制参数的调整精度低的技术问题，达到多维度进行匹配度分析，提高镀膜控制参数的调整精度，同步进行监测预警，实现镀膜加工的智能化监测的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 监测 预警 方法 系统 | ||
【主权项】：
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